Mikro ishlov berish texnologiyasi juda moslashuvchan jarayon bo'lib, murakkab shakllarga ega mikro komponentlarni ishlab chiqarishi mumkin. Bundan tashqari, u keng turdagi materiallarga qo'llanilishi mumkin. Uning moslashuvchanligi uni g'oyadan prototipga qadar tez ishlash, murakkab 3D tuzilmalarni ishlab chiqarish va iterativ mahsulotni loyihalash va ishlab chiqish uchun qulay qiladi.
1. Jismoniy mikro ishlov berish texnologiyasi
Lazer nurlarini qayta ishlash: metall yoki metall bo'lmagan sirtlardan materiallarni olib tashlash uchun lazer nurlari tomonidan boshqariladigan issiqlik energiyasidan foydalanadigan ishlov berish jarayoni. O'tkazuvchanligi past bo'lgan mo'rt materiallar uchun ko'proq mos keladi, lekin u ko'pchilik materiallar uchun ishlatilishi mumkin.
Ion nurlarini qayta ishlash: mikro / nano ishlab chiqarish uchun muhim noan'anaviy ishlab chiqarish texnologiyasi. Ob'ekt yuzasidagi atomlarni olib tashlash, qo'shish yoki o'zgartirish uchun vakuum kamerasidagi tezlashtirilgan ion oqimidan foydalanadi.
2. Kimyoviy mikromexanik ishlov berish texnologiyasi
Reaktiv ionli o'tlash (RIE): past kuchlanishli kamerada substratlar yoki plyonkalarni o'chirish uchun moddalar RF oqimi bilan qo'zg'atiladigan plazma jarayoni. Bu kimyoviy faol moddalar va yuqori energiyali ion bombardimonining sinergik jarayoni.
Elektrokimyoviy ishlov berish (ECM): elektrokimyoviy jarayonlar bilan metallarni olib tashlash usuli. Odatda keng ko'lamli ishlab chiqarish va o'ta qattiq materiallarni yoki an'anaviy usullar bilan ishlov berish qiyin bo'lgan materiallarni qayta ishlash uchun ishlatiladi. Uning qo'llanilishi o'tkazuvchan materiallar bilan cheklangan. ECM qattiq va noyob metallardagi kichik yoki tartibsiz burchaklarni, murakkab konturlarni yoki bo'shliqlarni kesishi mumkin.
3. Mexanik mikro ishlov berish texnologiyasi
Olmosli torna: tabiiy yoki sintetik olmos biti bilan jihozlangan torna yoki lotin mashinasi bilan nozik komponentlarni tornalash yoki qayta ishlash jarayoni.
Olmosni frezalash: sharsimon olmos asbobi yordamida dumaloq kesish orqali asferik linzalar qatorini yaratish uchun ishlatilishi mumkin bo'lgan kesish jarayoni.
Nozik silliqlash: ishlov beriladigan qismni nozik sirtga ishlov berish imkonini beruvchi abraziv ishlov berish va 0.0001 "ga juda yaqin bardoshlik.
Cilalash: abraziv ishlov berish, argon ion nurlari bilan parlatish juda barqaror jarayon bo'lib, u teleskop nometalllarini tugatish va mexanik abraziv yoki olmosli torna optik qurilmalaridagi qoldiq xatolarni tuzatish uchun ishlatiladi. MRF jarayoni birinchi deterministik polishing jarayonidir. Tijoriy va asferik linzalar, reflektorlar va boshqalarni ishlab chiqarishda qo'llaniladi.
