O'ta aniqlikdagi dastgohlarni ishlab chiqish o'ta nozik ishlov berishni rivojlantirish uchun muhim shartdir. So'nggi yillarda rivojlangan mamlakatlar turli xil ilg'or o'ta nozik ishlov berish dastgohlarini muvaffaqiyatli ishlab chiqdilar. Ultra nozik dastgoh asboblarini ishlab chiqish yo'nalishi o'ta nozik dastgohlarning aniqligini yanada yaxshilash, keng ko'lamli o'ta nozik dastgoh asboblarini ishlab chiqish va ko'p funktsiyali va yuqori samarali maxsus maqsadli o'ta nozik dastgoh asboblarini ishlab chiqishdir.
AQSH, Buyuk Britaniya, Germaniya va boshqa mamlakatlar 1970-yillarda (Yaponiya 1980-yillarda) oʻta aniqlikdagi dastgohlarni ishlab chiqarishni boshladi va ularni partiyalarda yetkazib bera oladi. Katta o'lchamli o'ta nozik dastgohlar nuqtai nazaridan, Qo'shma Shtatlardagi LLL Milliy laboratoriyasi 1986 yilda ikkita yirik o'lchamli o'ta aniq olmosli stanoklarni muvaffaqiyatli ishlab chiqdi: biri ishlov berish diametriga ega gorizontal DTM-3 olmosli stanok. 2,1 m, ikkinchisi esa 1,65 m ishlov berish diametri. LODTM vertikal katta optik olmosli torna. Ular orasida LODTM vertikal katta optik olmosli stanok dunyodagi eng yuqori aniqlikka ega bo'lgan ultra aniqlikdagi dastgoh sifatida tan olingan. Keyinchalik Qo'shma Shtatlar katta optik nometalllarni nozik silliqlash uchun 6-o'qli CNC nozik silliqlash mashinasini ishlab chiqdi.
Britaniyaning Cranfield nozik ishlov berish markazi 1991 yilda OAGM{0}} ko'p funksiyali uch koordinatali CNC silliqlash mashinasini (stol maydoni 2500 mm × 2500 mm) muvaffaqiyatli ishlab chiqdi, u aniq erkin shaklli sirtlarni qayta ishlash (silliqlash, tornalash) va o'lchash imkonini beradi. Mashina asbobi ish qismlarini ulash usulini qo'llaydi, shuningdek, astronomik teleskoplarda diametri 7,5 m bo'lgan katta nometalllarni qayta ishlay oladi.
Yaponiyaning ko'p funktsiyali va yuqori samarali maxsus maqsadli ultra aniqlikdagi dastgohlari jadal rivojlandi, bu Yaponiyaning mikroelektronika va maishiy texnika sanoatini rivojlantirishda yaxshi rol o'ynadi.