Qayta ishlangan materiallarda mikro yoriqlar mavjudligi yoki kristallanishdagi sifat nuqsonlari tufayli, ishlov berishning aniqligini oshirish va ishlov berish uskunasini yaxshilashdan qat'i nazar, hozirda kesish, silliqlash, parlatish va hokazo kabi ishlov berish usullari keng qo'llaniladi. har doim ma'lum cheklovlar mavjud. Yaponiyaning Osaka universiteti muhandislik fakulteti professori Mori Yongzheng kimyoviy gazdan foydalangan holda yangi ishlov berish usulini taklif qildi, bu plazma CVM usuli deb ataladi, bu ultra aniq sirtlarni olish uchun atom kimyoviy reaktsiyalaridan foydalanadigan texnologiyadir. Uni qayta ishlash printsipi Plazma bilan ishlov berish kabi, plazmadagi faollashtirilgan erkin radikallar ish qismining yuzasi bilan reaksiyaga kirishib, ularni uchuvchi molekulalarga aylantiradi va qayta ishlash gaz bug'lanishi orqali amalga oshiriladi va plazma yuqori bosim ostida hosil bo'ladi. , juda yuqori zichlikni yaratishga qodir
erkin radikallar, shuning uchun bu ishlov berish usuli mexanik ishlov berish usullari bilan taqqoslanadigan ishlov berish tezligiga erishishi mumkin.
Yuqori bosimlarda plazma gaz molekulalarining juda kichik o'rtacha erkin yo'li tufayli elektrodlar yonida joylashgan. Shunday qilib, u elektrod skanerlash orqali qayta ishlanishi mumkin, O. 01 mkm aniqlikdagi har qanday shakldagi qismlar ham 50 mkm/min tezlikda bitta kristalli kremniy tekisligini qayta ishlay oladi va ishlov beriladigan ish qismining sirt pürüzlülüğü 0,1 nm (Rrms) ga etadi.
Kelgusi asrda CVM texnologiyasi kremniy chiplarini qayta ishlash va yarimo'tkazgich ta'sir qilish qurilmalari uchun asferik linzalarni qayta ishlash kabi ko'plab sohalarda qo'llaniladi. Hozirgi vaqtda ba'zi odamlar sinxrotronlar uchun rentgen oynalari kabi atomlarni qayta ishlash uchun CVM va EEM kombinatsiyasini o'rganmoqdalar. Yassi ixtiyoriy sirt.